EUV 리소그래피 양산 도달
2019ASML / TSMC
TSMC 7nm+가 ASML의 극자외선 장비를 쓴 첫 대량 양산 노드 — 7nm 이하를 연 도구.
EUV 리소그래피 장비의 사실상 유일한 공급사 — 선단 공정의 핵심 병목.
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TSMC 7nm+가 ASML의 극자외선 장비를 쓴 첫 대량 양산 노드 — 7nm 이하를 연 도구.
